日本OSAKA, 大阪真空泵, 安徽省一级总代理商, 供应涡轮分子泵TG220F, 使用选型手册, 2D与3D模型图纸, 售后服务维修中心, 电话0551-65319662-产品中心-合肥双合智能科技有限公司-

QQ截图20200803162449.jpg TG220F

特点：

●全方位安装

●轻巧设计

●节能

●迅速启动

●使用破控功能可迅速停止

●耐大气冲击能力强

　　经400次大气冲击验证

●多种通信模式

●符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

用途.jpg

・半导体制造

・电子枪排气，离子源排气

・FPD制造

・表面处理，表面改质

・各种电子部件的制造

・分析，试验装置

・管球制造，光学部件制造

・加速器，放射线设施，核聚变研究

・热处理

・研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

规格

吸气口法兰		VG100
		CF100
		ISO-R100
排气速度	N2 (L/s)	220
	N2(附加金属保护网) (L/s)	210
	H2 (L/s)	100
最大压缩比	N2	1×108
最大压缩比	H2	4×102
极限压力	Pa/Torr	<1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1	N2 (sccm)	400
启动时间	(min)	1-1.2
停止时间	(min)	2.5-3.5
允许辅助压力	(Pa/Torr)	260/2
推荐辅助泵	(L/min)	≧80
安装角度		任意
重量	VG･ISO-R/CF(kg)	4.2/6
※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。