日本OSAKA, 大阪真空泵, 安徽省一级总代理商, 供应涡轮分子泵TG60F, 使用选型手册, 2D与3D模型图纸, 售后服务维修中心, 电话0551-65319662-产品中心-合肥双合智能科技有限公司-

QQ截图20200803162449.jpg TG60F

特点：

●全方位安装

●轻巧设计

●节能

●迅速启动

●使用破控功能可迅速停止

●耐大气冲击能力强

●多种通信模式

●高压缩比

●电源控制器与分子泵一体化

●符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

　（※仅限TG60F-20）

用途.jpg

・半导体制造

・电子枪排气，离子源排气

・FPD制造

・表面处理，表面改质

・各种电子部件的制造

・分析，试验装置

・管球制造，光学部件制造

・加速器，放射线设施，核聚变研究

・热处理

・研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

规格

型号		TG60F	TG60F-20
吸气口法兰		ISO-R63、CF63、(KF40)※4
排气速度	N2 (L/s)	60
	N2(附加金属保护网) (L/s)	55
	H2 (L/s)	22
最大压缩比	N2	2×107
	H2	2×103
极限压力	VG・ISO-R/CF (Pa)	<5×10-6 / <1×10-6
	VG・ISO-R/CF (Torr)	<3.8×10-8 / <7.5×10-9
最大气体流量※1	自然风冷 N2 (sccm)	10
	强制风冷 N2 (sccm)	20
启动时间	(min)	1.5-2
允许辅助压力	(Pa/Torr)	800 （6）
推荐辅助泵	(L/min)	≧25
重量※2	ISO-R/CF(kg)	3.4 / 5.4
控制器型号※3		TC65	TC66
输入电压（V）		DC24V	AC100-230V(±10%)
所需最大电力（W)		120W	160VA
※1：辅助泵的容量是25L/min情况下的最大容许流量
※2：TG60F的情况。TG60F-20查看右方记载。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可选择泵和控制器一体型(TC65)或者是分离式型(TC66)
※4：关于吸气口法兰KF40的规格请另行咨询销售人员。
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。