工业自动化

集成配套服务商

产品描述

大阪真空的涡轮分子泵(复合分子泵)的主要特点：

●无油的超真空环境

●机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

●可排稀有气体和腐蚀性气体

●可连续排大流量气体

●可工作的压力范围(～10-10Pa)

全方位安装复合分子泵TG50F/TG60F/TG70F/TG220F/TG240F/TG350F/TG450F/TG800F/TG1100F/TG1400F/TG2400F/TG2410F系列

使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。

磁悬浮复合分子泵

TG390M/TG397M/TG420M/TG427M/TG900M/TG907M/TG1300M/TG1307M/TG2400M系列

使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。 

磁悬浮复合分子泵(控制器・电源一体型)

TGkine2200M/TGkine3300M/TGkine4200M系列

实现了控制器和电源的一体化。不需要输出电缆和控制器机架，减少的设备的占地面积。继承了TG-M系列的特点，通过转子的最优化设计，进一步提高了排气性能。 

油润滑滚珠轴承复合分子泵

TG203/TG553/TG1003/TG1303/TG1810/1813/TG2813/TG3213/TG3413/TG5000/5003/TG5500/5503系列

使用了油润滑滚珠轴承。提供排气速度200L/s～5500L/s的耐腐蚀型产品，可用于腐蚀性气体排气。 

分子泵排气泵组 ST系列

搭载了TG-F系列的适用于高真空排气的分子泵泵组。操作简单，并且附带脚轮移动方便。

ST-Compact系列

搭载了TG-70F的小型排气泵组。占地面积只有一台笔记本电脑大小，携带方便，适用于研发装置的小容积排气。